等離子廢氣處理的工作原理是流星雨狀的高能等離子與介質(zhì)發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)介質(zhì)的 內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過程是污染介質(zhì)處于活化狀態(tài)。污染介質(zhì)在等離子體的作用下， 產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫離。當(dāng)離子平均能量超過污染 介質(zhì)中化學(xué)鏈結(jié)合能時，分子鏈段裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子廢氣凈化器吸附場的作用下被收集。