主要是利用催化劑來改變反應條件以達到在較低條件下去除有機物的凈化裝置，裝置內所發生的的氣-固相催化反應的實質是活性氧參與的深度氧化作用。在催化凈化過程中，催化劑用來降低化學反應的活化能，使反應條件更有利于所能控制的條件。借助催化劑的作用使廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰燃燒，并將其氧化分解為無害的C02和H20，同時放出大量的熱能，從而達到去除廢氣中有害物質的目的。催化燃燒廢氣處理設備優勢

一、起燃溫度低,節省能源
有機廢氣催化燃燒與直接燃燒相比,具有起燃溫度低、能耗低的顯著特點。在某些情況下,催化燃燒達到起燃溫度后便無需外界供熱。
二、適用范圍廣
催化燃燒幾乎可以處理所有的烴類有機廢氣及惡臭氣體。對于有機化工、涂料、絕緣材料等行業排放的低濃度、多成分、無回收價值的廢氣,采用吸附--催化燃燒法的處理效果。
三、處理效率高,無二次污染
用催化燃燒法處理有機廢氣的凈化率一般都在95%以上,終產物為無害的CO2 和H2O (雜原子有機化合物還有其他燃燒產物),且由于燃燒溫度低,能大量減少NOX 的生成,因此不會造成二次污染。但是其缺點是工藝條件要求嚴格，不允許廢氣中含有影響催化劑壽命和處理效率的塵粒和霧滴，也不允許有使催化劑中毒的物質，以防催化劑中毒，因此采用催化燃燒技術處理有機廢氣須對廢氣作前處理。